Tubo in fibra di carbonio rinforzato

Cornici di metrologia in fibra di carbonio ultra-precisione

Soluzione di stabilità del sub-micronProgettati per le macchine di misurazione delle coordinate (CMM) e le fasi litografiche, i nostri tubi di carbonio a base di pitch raggiungono 0}. 08 µm/ m/ gradi stabilità termica - 5 x meglio delle leghe invar. Il segreto sta in:

Material Science Breakthrough

Architettura in fibra: Fibre di pitch mesofase K13D2U (resa di carbonizzazione al 93%)

Tessitura ibrida: 1k Weave semplice + 12 K UD Assial Rinformance

Smorzamento additivo: Particelle viscoelastiche di strato vincolato al 2%

Metriche per le prestazioni critiche

Caso di studio: allineamento a semiconduttoreInstallato nelle fasi della maschera EUV al 2nm Fab di TSMC:

Errori di overlay ridotti da {{0}}. 22nm a 0,07nm

Abilitato il 98,7% di resa del wafer vs 93,4% con guide in ceramica

Miglioramento del tempo del ciclo del 22% attraverso una riduzione della compensazione termica

Compatibilità della camera pulita

Outgassing: 0. 003% TML (NASA ASTM E595 CONDIZIONE)

Emissione di particelle:<5 particles/ft³ (ISO Class 1 standard)

Protezione ESD: 10⁶ -10 ⁹ ω resistività della superficie

Protocollo di manutenzione

RICOUTTURA ANNUALE con etilene propilene fluorurato (FEP)

Calibrazione dell'interferometro laser ogni 5, 000 ore

10- garanzia di stabilità dimensionale annuale

Etichetta sexy: Tubi di fibra di carbonio rinforzati, fornitori, produttori, fabbrica, personalizzato, all'ingrosso, prezzo, citazione, campione gratuito